Полированная кремниевая пластина 2-8 дюймов премиум-класса CZ/FZ монокристалл

Наш отполированный кремниевый пластина представляет собой флагманский продукт в нашем портфеле полупроводниковых подложек, изготовленный с высочайшей точностью для производства интегральных схем и MEMS-устройств. Каждая отполированная кремниевая пластина проходит строгий многоэтапный производственный процесс, включающий выращивание кристаллов, резку внутреннего диаметра, скругление краев, шлифовку, химическое травление и окончательную химико-механическую полировку (CMP) для достижения ультра-гладкой, без повреждений поверхности с атомарной плоскостностью. Мы поддерживаем строгие условия чистой комнаты на протяжении всего процесса полировки и инспекции, чтобы обеспечить минимальное загрязнение частицами на каждой отполированной кремниевой пластине, которую мы поставляем.

Мы предлагаем отполированные кремниевые пластины диаметром от 2 до 8 дюймов, изготовленные как из монокристаллов методом Чохральского (CZ), так и методом плавучей зоны (FZ), чтобы удовлетворить различные требования к применению. Отполированные кремниевые пластины CZ обеспечивают отличную экономическую эффективность и равномерное содержание кислорода для общих применений в ИС и MEMS, в то время как пластины FZ обеспечивают ультра-высокую чистоту и более высокое сопротивление для производства силовых полупроводников и высоковольтных устройств. Наш ассортимент продукции охватывает легирование типа N и типа P с различными степенями сопротивления, с вариантами ориентации кристалла, включая <100>, <110> и <111>, чтобы соответствовать конкретным требованиям дизайна устройств. Мы также предоставляем варианты с односторонней и двусторонней полировкой в зависимости от потребностей процесса заказчика.

Каждая отполированная кремниевая пластина подвергается комплексной проверке качества, включая измерение общей вариации толщины (TTV), тестирование на деформацию и изгиб, подсчет частиц на поверхности с помощью лазерных сканирующих систем, картирование сопротивления и анализ дефектов кристалла с помощью предпочтительного травления, чтобы обеспечить стабильную производительность по всей поверхности пластины. Доступны качества Prime, Test и Dummy, наши отполированные кремниевые пластины удовлетворяют разнообразные требования от массового производства ИС до университетских исследовательских и опытно-конструкторских проектов. Как надежный поставщик отполированных кремниевых пластин, мы поддерживаем строгие стандарты чистой комнаты на протяжении всего производства и упаковки, поставляя подложки, соответствующие или превосходящие международные стандарты SEMI для производства полупроводников.

Категория параметра	Технические характеристики
Диаметр пластины	2 дюйма, 3 дюйма, 4 дюйма, 5 дюймов, 6 дюймов, 8 дюймов (на заказ)
Метод выращивания кристалла	Чохральский (CZ), плавучая зона (FZ)
Тип легирования	Тип N (легирование фосфором, мышьяком, сурьмой); тип P (легирование бором)
Сопротивление	0.001 Ω·см до >10,000 Ω·см (высокое сопротивление)
Ориентация кристалла	<100>, <110>, <111>
Общая вариация толщины (TTV)	≤ 0.5 мкм
Деформация (Warp)	≤ 10 мкм
Изгиб (Bow)	≤ 5 мкм
Шероховатость поверхности (Ra)	≤ 0.5 нм (атомарная плоскостность)
Класс качества	Класс Prime (пластина для производства устройств); класс Test; класс Dummy (контрольная пластина)
Инспекция	100% полная инспекция: обнаружение частиц, картирование сопротивления, сканирование дефектов кристалла
Соответствие стандартам	Соответствует международным стандартам SEMI
Упаковка	Вакуумная упаковка класса чистоты 100; 25 штук в коробке или по индивидуальному заказу
Документация	Полный отчет об инспекции и сертификат материала при каждой поставке
Применение	Производство ИС, изготовление MEMS, силовые полупроводники, солнечные элементы, исследовательские лаборатории

Отполированная кремниевая пластина служит основным исходным материалом для почти всех процессов производства полупроводниковых устройств, включая фотолитографию, осаждение тонких пленок, ионную имплантацию и травление. Наши клиенты включают производителей интегральных устройств, MEMS-фабрики, производителей солнечных элементов и университетские исследовательские лаборатории по всему миру, которые полагаются на наше стабильное качество и надежные поставки отполированных кремниевых пластин для своих критически важных производственных и исследовательских операций. Мы предлагаем гибкие объемы заказов от небольших исследовательских партий до массовых поставок, с комплексной технической поддержкой и услугами по разработке индивидуальных спецификаций, чтобы помочь нашим клиентам достичь оптимальных результатов в их процессах производства полупроводников. Кроме того, мы предоставляем услуги по индивидуальной обработке пластин, включая металлизацию с обратной стороны, уменьшение толщины пластин и резку, чтобы поддержать клиентов с особыми требованиями к упаковке и сборке, делая нас комплексным поставщиком решений по подложкам.